SSIの利点
　データーを繋ぎ合わせる（ステイッチング）と測定結果は劣化すると思われがちであるが、事実はまったくの逆で、搭載している干渉計よりはるかに向上する。部分測定（サブアパチャー）したデーターを整合性があるよう繋ぎ合わせ、最終的に数十分のλ以上の高精度が達成できました。
　　　特　徴
・測定レンジの拡大（横方向）により全面形状測定が可能（外形200mm、NA=1.0）
・ステイッチングにより市販の原器を上回る測定精度が可能
・非球面の測定にも対応
・自動補正での簡単操作　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

＊エッジ近傍まで詳細に表現可能となり、全面での信頼性が向上。